光刻设备研发专家-TD Scanner Equipment Expert(J20187)

1. 工艺与设备研发： 主导Scanner相关工艺及设备研发工作，评估国内外主流Scanner工艺与设备技术路线，制定并执行研发方案； 2. 跨部门协同与问题闭环： 掌握Scanner工艺特点，深入了解Scanner相关工艺与设备知识，协同团队成员及跨部门团队识别并解决技术难题，推动问题闭环。 【任职要求】 1. 熟悉各厂商光刻机设备结构及工作原理，包括ASML、Canon、Nikon等； 2. 熟悉光刻机Scanner对准系统原理及其零部件，熟悉高精度运动平台原理及其零部件； 3. 对现有的设备提出或者参与改造以达成特定目标，定期组织和厂商技术交流，掌握业界设备最新的信息； 4. 与多部门合作，从设备、工艺、量测角度解决半导体先进工艺面临的对准和OVL套刻挑战； 5. 提出创新工艺的方法，制定落地计划并验证实施。