量测工艺经理（Inspection / Review）(J14537)

1. 负责存储芯片产线上光学缺陷检测（Brightfield/Darkfield Inspection） 和/或电子束复查（Review SEM） 设备的Recipe建立、调试及日常监控。 2. 对晶圆表面缺陷（颗粒、划伤、图案缺失/桥接等）进行快速扫描和定位，输出缺陷分布图，协助良率提升部门筛选关键缺陷。 3. 操作Review SEM对检测到的缺陷进行高分辨率复查、分类和拍照，建立缺陷来源图谱（如DTS（缺陷根源分析）或ADC（自动缺陷分类））。 4. 分析检测和复查数据的相关性，优化检测灵敏度（减少漏检和误报），支持工艺异常的根本原因调查。 5. 参与新量测机台的评估与验收，开发针对新材料/新结构的缺陷检测算法参数。 【任职要求】 1. 硕士及以上学历，光学工程、物理、电子束技术、计算机视觉等相关专业。 2. 8年以上半导体晶圆厂或设备商经验，熟悉光学缺陷检测机台（如KLA 29xx/8xxx系列、AMAT UVision、Camtek等）或Review SEM机台（如KLA eDR7xxx、AMAT SEMVision、日立等）。 3. 了解光学或电子束成像原理，有Recipe调优和缺陷分类（ADC/手动分类）实际经验。 4. 熟悉缺陷数据分析软件（如Klarity、Yield AP等）者优先。 5. 具备较强的数据敏感度和逻辑分析能力，能适应快节奏的产线支持工作。