Mechatronics Sr. MTS/MTS

A. 高精度运动台机械与系统设计 (Mechanical & System Design) • 负责电子束量测设备核心运动台的架构设计，重点优化结构刚度、阻尼特性及热稳定性。 • 执行基于有限元分析（FEA）的结构动力学仿真，预测并抑制共振模态，确保系统在电子束扫描频率范围内的动态响应满足信噪比要求。 • 设计低热膨胀系数材料组合及主动/被动隔振方案，以最小化环境振动和热漂移对纳米级测量的影响。 B. 运动控制算法开发与优化 (Motion Control & Optimization) • 建立高保真度的多物理场系统模型，用于控制器综合与仿真验证。 • 优化轨迹规划算法，在保证加速度和加加速度（Jerk）平滑的前提下，最大化晶圆检测吞吐量（Throughput）。 C. 系统集成与故障排查 (Integration & Troubleshooting) • 主导机电系统的集成调试，利用激光干涉仪、电容传感器等高精度仪器进行频率响应函数（FRF）测量及系统辨识。 • 快速诊断并解决复杂的跨学科问题（如电磁干扰EMI、机械谐振、控制回路不稳定、热变形耦合等）。 • 制定自动化校准与诊断程序，提升设备的可维护性与长期稳定性。 3. 【任职资格 (Qualifications)】 A. 教育背景 • 必须持有机械工程、机电一体化、控制科学或相关领域的硕士及以上学位。 B. 专业技能 (Hard Skills) • 控制理论： 精通现代控制理论，包括状态空间法、鲁棒控制、最优控制及非线性控制。有实际处理 MIMO（多输入多输出）系统和柔性体控制的经验。 • 精密工程： 深刻理解纳米定位技术、摩擦学、结构动力学及误差分离技术。熟悉光栅尺、电容传感器、激光干涉仪等高精度反馈机制。 • 振动控制：具备振动控制的理论和模拟能力，具备振动测试的实操能力（Preference） • 仿真与工具： 熟练使用 MATLAB/Simulink 进行模型搭建与控制设计；掌握 Python/Julia/C++ 进行算法实现；熟悉实时通信协议（如 EtherCAT）。 • 行业标准： 了解半导体设备相关标准（如 SEMI 标准）及洁净室操作规范。 C. 经验要求 • 5年以上高精度机电系统开发经验，必须有半导体量测/检测设备、光刻机或超精密医疗机器人相关项目经历。 • 具备从概念设计、原型开发到量产导入（NPI）的全流程经验。 • 有领导跨职能团队（机械、电子、软件、光学）解决复杂技术难题的成功案例。